Silicon Micromachining
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Silicon Micromachining
This comprehensive book provides an overview of the key techniques used in the fabrication of micron-scale structures in silicon. It is a blend of detailed experimental and theoretical material and will be of great interest to graduate students and researchers in electrical engineering and materials science whose work involves the study of micro-electromechanical systems (MEMS). Language: English
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- カテゴリー: 教育
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フォーマット: Paperback
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刊行日: 2004/05/22
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アーティスト: Elwenspoek Miko
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ページ数: 420
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言語: English
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出版社 / レコード会社: Cambridge University Press
- Fruugo ID: 451462526-952234039
- ISBN: 9780521607674
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